当前，在制造芯片的过程中，光刻机、蚀刻机是必不可少的工序，近年来我国在蚀刻机领域进展神速，收获颇丰，蚀刻机设备的国产化率已经接近30。那么它到底有多先进呢，就连美国都对此垂涎不已？
　　蚀刻机的作用不可替代，光刻机作用是把设计好的芯片电路图刻在硅片上，接着，蚀刻机雕刻光刻芯片的电路图。在高端芯片的数百亿个晶体管、集成电路的轮廓雕刻过程中，至少需要上千个程序，就是这样一款复杂的设备，我国科研工作者将它给攻克了。
　　中微半导体是我国蚀刻机领域的代表性企业，也是我国的一块金字门面。2020年，中微半导体的5nm蚀刻机已经打入台积电的5nm生产线，台积电目前制造芯片所使用的就是中微半导体的蚀刻机。足以证明它的强大。
　　图片为蚀刻机设备
　　中微半导体创始人尹志尧表示，过去十多年，中微半导体花费了20亿人民币，才发展到现在的境况。从一个十几人的小团队到国际一流的蚀刻机企业，中微历经坎坷，好在柳暗花明。
　　这种芯片看起来很小，但却承载着巨大的能量，芯片从设计到成品，其中需要使用的设备很多，很多人可能知道生产芯片，光刻机也是重要设备，美国全面制裁华为，封锁了华为的芯片来源，全球有两个国家可以生产高端光刻机，即荷兰和日本，全球可以生产7纳米及以下高端芯片的光刻机被荷兰ASML垄断，中国也曾向荷兰ASML购买光刻机，经过多次谈判，最终获得相对落后的DUV光刻机。
　　但是在蚀刻机方面美国却奈何不了我国，毕竟尹志尧带领他的团队仅仅花费10年左右时间，就攻下了5nm加工工艺，研发出全球第一台5nm蚀刻机，近日还有媒体报道中微已经成功研制出具有国际先进水准的3nm蚀刻机设备。这几年连美国都来窃取技术甚至乱泼脏水，怎么回事呢？
　　图片为尹志尧博士
　　当时，美国维科在设备市场不敌中微，很不服气，所以维科对中微半导体设备的供应商展开了专利侵权诉讼，但是实际上是自己侵犯了中微半导体的发明专利，之后中微想给微科一个教训。我国获悉美方涉嫌侵犯中方特许权的设备即将从上海机场进口，立即向上海海关申请扣留涉嫌侵权货物。这件商品价值3000万元以上，微科损失不小。经过一番争执，维科才正视中微公司的自主研发能力和在中国的知识产权状况，积极与中微公司展开谈判，双方最终达成交叉授权和解协议。
　　虽然我国在半导体领域是后起之秀，但具有后发优势，中国再多几个像中微这样靠谱的企业，在科技领域崛起就有望了，下一步就是在国产高端光刻机领域发力！（铖）

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