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真空系统设计(机械捕集器的基本计算)

4月16日 星宿房投稿
  2。3。1。3机械捕集器的基本计算
  捕集器(阱类)的计算是一个相当复杂的问题,既有空间分子的运动问题,也有气固界面物理现象;既有宏观的分子动量迁移,
  图250水冷机械捕集器
  1一外壳;2捕集片;3法兰;4一水管接头;5水套
  图251锥状环形机械捕集器
  图252水冷机械捕集器
  1一水管;2捕集片;3一密封圈;4一法兰;5一接头
  图253倒塔形机械捕集器
  能量(热量)传递和质量扩散问题,又有表面物理和表面化学的机理。目前,机械捕集器的设计计算重点主要是:结构简单、屏蔽效果好、流导大。综观现状,其流导的计算方法基本有三种:(1)利用实验得到的比流导数据进行计算;(2)把捕集器看成是异型截面管道串、并联而成的复杂管道,根据本书第2章流导计算公式计算:(3)利用蒙特卡洛法(MonteCarlomethod)算出并得到实验证实的成果进行计算。
  A利用比流导计算
  在真空系统中,尤其是主抽泵入口处所用的机械捕集器,绝大多数都要在机械阻挡的基础上,对捕集片进行冷却,以提高捕集效果。
  常用的水冷捕集器的流导可由下式求得:
  式中,C为比流导,(1(scm2)),查表216;A为捕集器入口截面积,cm2。
  若捕集器不用水冷却,则式(212)要引入一个温度影响系数l,则有:
  若冷凝剂是干冰(固体CO2),取l1。2;若是液氮,则取l1。7。
  B利用蒙特卡洛法所得数据计算
  在分子流状态下,用蒙特卡洛法从理论上算出的流导和实测值非常相近,因此,可以利用这些成果进行计算。由于捕集器的流导在分子流态时,可以用相同截面尺寸的孔口的流导乘以传输几率P,故有下式:
  中,P为传输几率,可由表216或相关曲线查得;CA为与捕集器同口径的小孔流导;T为绝对温度;为摩尔质量;A为捕集器的入口面积。
  用蒙特卡洛法计算的P值示于图254图259。图中所示为单百叶窗式和人字形闭光障板的几何结构与传输几率P的关系曲线。
  由图可知,对于比值AB5的几何结构,传输几率P,值并不显著增加。而且在两种情形中,发现60的流导比45和30角的流导要好。对于相同的角和AB值,人字形障板(图255)的P值差不多是单百叶窗式障板P值的一半。对一个被人字形障板全遮蔽的孔而言,最大的传输几率P值为0。28(图255)。在实际真空系统中,往往把机械捕集器的捕集片(挡板)与致冷剂相连,其结果使捕集器的有效气体通过面积稍微减小。因此,一个设计合理的人字形捕集器,实际的P值为0。2。综上所述,百叶窗式障板和人字形障板的传输几率P,是障板长度A、间距B及叶片与水平夹角的函数。试验表明,人字形障板的5060为宜。
  图254单百叶窗式障板的Pr值
  图255障板与扩散泵连接后的Pr值
  图256障板的Pr值
  图256障板的Pr值
  图256所示为具有圆形挡片和两个节流端(双折流板)障板的传输几率P半径为R的圆筒两端向内卷边,形成长度为l、半径为R的孔的圆筒。在l2处同轴装置半径为R的圆板而构成一个机械捕集器。该捕集器的传输几率随lR和RRo变化。由图可见,Pr在0。10。5范围内选取,它比人字形叶片捕集器的传输几率P有显著增加。图257所示为蒸气流泵顶部障板的传输几率与几何尺寸的特性曲线;图中A的情况与图256所示的几何结构相同。在蒸气流泵入口处装置一个RR01。5的双折流板,这两个结合部件的传输几率P,随lR及一级喷嘴在折流板中的位置而变化。图中B的情况为在蒸气流泵入口处装置一个RR1。5的双折流板,表示分子经过泵的喷嘴外缘和管口内边缘间的环形空间的传输几率P。图中C的情况与B相似,但配置不同。
  图258障板的Pr值
  图259障板与扩散泵连接后的Pr值
  图258所示为只有圆形挡片和一个节流端(单折流板)障板的传输几率,其传输几率P是lR和Ml的函数。图259所示是用在蒸气流泵上部的与图258类同障板的传输几率。当ML0。26时,大弯管障板可分两种:有凸出端的圆形弯头障板和方形弯头障板,如图260和图261所示。这两种几何形状的障板捕集器,实际上是障板阀组合体。在蒸气流泵入口与高真空管道联结处时时可见。扩大障板直径可以降低障板对泵有效抽速的影响,其中圆形挡片的直径与小孔的直径相同。原则上这种挡片可以摆动盖住某个小孔。这种结构障板的试验表明,当WD1。3时,可得到大的传输几率P该种障板捕集器的结构形式、尺寸比例和相应的传输几率示于图260和图261中
  图260圆形弯头障板的传输几率
  I一桶形弯头;一有挡油帽的桶形弯头;一在扩散泵上的桶形弯头;有人字形障板的桶形弯头
  图261方形弯头障板的传输几率
  I一方形弯头;一有挡油帽的方形弯头;一在扩散泵上的方形弯头
  图262为几种典型障板的分子与器壁的平均碰撞次数,该值是由蒙特卡洛法求得的。由图中可知,分子至少要进行四次以上的碰撞。
  此外,在真空系统中蒸气流泵入口与高真空管道或被抽容器之间的连接,通常用锥形管过渡,它也具有障板效应,其传输几率P与R1R2、lR2之间的函数关系如图263所示。
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